韓國PlayTG高純度工藝加熱型蒸汽在線過濾器
韓國PlayTG高純度工藝加熱型蒸汽在線過濾器

• HVFT（Heating Vapor Filter）（加熱型蒸汽過濾器）
• 功能：在高溫段對(duì)工藝蒸汽進(jìn)行 9-log（99.9999999%） 級(jí)超微顆粒過濾，同時(shí)保持氣體溫度，防止冷凝與再次污染。
• 目標(biāo)市場(chǎng)：半導(dǎo)體、顯示、光伏及高純化學(xué)品制程中需要 熱蒸汽在線過濾 的環(huán)節(jié)（如擴(kuò)散、外延、ALD、CVD 等）。

2. 核心結(jié)構(gòu)與材質(zhì)

• 過濾介質(zhì)：PTFE 或多層 PTFE/全氟材質(zhì)濾芯，孔徑等級(jí) 0.003 µm 起。
• 熱殼體：PFA/不銹鋼電鍍或拋光，內(nèi)置 電加熱套/筒式加熱器；保溫層外包硅膠或氣凝膠。
• 密封件：全氟彈性體（FFKM）O-ring，金屬離子析出 < 1 ppb。
• 接口：3/4″、1″ 法蘭或 VCR 面密封，在線可換裝濾芯（側(cè)入或底入設(shè)計(jì)）。

3. 主要性能指標(biāo)（行業(yè)通用范圍，供參考）

4. 應(yīng)用節(jié)點(diǎn)舉例

1. Diffusion / Anneal：高溫 N?/O?/H? 蒸汽過濾，避免爐管顆粒污染。
2. ALD 前驅(qū)體輸送：對(duì)加熱的 H?O、NH?、TEMAH 等蒸汽進(jìn)行在線凈化。
3. OLED / LCD 濕法刻蝕：高溫有機(jī)胺或水蒸氣過濾，減少 micro-defect。
4. 太陽能擴(kuò)散爐：POCl? 或 BBr? 高溫載氣過濾，提升結(jié)均勻性。

5. 優(yōu)勢(shì)與維護(hù)

• 在線加熱：殼體恒溫，蒸汽不冷凝，顆粒不會(huì)因液滴二次攜帶。
• 側(cè)端蓋結(jié)構(gòu)：可在設(shè)備待機(jī)降溫段快速換芯，縮短 MTTR。
• 低金屬/低顆粒析出：滿足 SEMI F57 / F40 超純化學(xué)兼容要求。
• 可選智能模塊：RS-485/4-20 mA 溫度與壓差遠(yuǎn)程監(jiān)控，接入廠務(wù) FDC 系統(tǒng)。